Beschaffung eines (1) Mask Aligners (samt den erforderlichen Dienstleistungen der Lieferung, der Einbringung, des Aufbaus samt Montage, Installation, Verkabelung und Inbetriebnahme, der Durchführung der Abnahme, Einweisung, Anwender-Schulung und Endabnahme sowie der Erstellung einer Dokumentation) für das Institut für Experimentalphysik der Fakultät für Mathematik, Informatik und Physik der Universität Innsbruck.