Ziel des gegenständlichen Vergabeverfahrens ist, den im Zuge des Vergabeverfahrens ermittelten Bestbieter mit der Lieferung, Installation und Inbetriebnahme sowie (optionaler) Durchführung von Wartungs- und Störfallbehebungsleistungen bzw. (optionaler) Schulung eines Plasma Etching Tool (standalone etch chamber) (SMF-2024-007)