Beschaffung eines Multi-Ionenstrahl-Mikroskops der nächsten Generation / Next Generation Multi-Ion-Beam Microscope. Zur Umsetzung des geförderten Projekts MYRIAD wird ein Multi-Ionenstrahl-Mikroskop beschafft. MYRIAD integriert völlig neuartige Strukturierungsmöglichkeiten, verschiedene bildgebende Elektronen- und Ionenstrahl-Mikroskopie-Methoden, sowie eine breite Palette von Analyseverfahren. Im Mittelpunkt steht eine einzigartige Technologie, die den flexiblen Einsatz verschiedener Ionenstrahlen (Xe, Ar, N, O) ermöglicht.